מבוא בסיסי של חיישן לחץ MEMS
חיישן הלחץ MEMS הוא אלמנט סרט דק שמתעוות כאשר הוא נתון ללחץ. ניתן להשתמש במד המתח (חישה piezoresistive) למדידת דפורמציה זו, או ניתן למדוד אותו על ידי חישה קיבולית בשינוי המרחק בין שני המשטחים. שתי שיטות אלו פופולאריות מאוד, ומערכת ניטור לחץ האוויר בצמיגים משתמשת בשיטה חזקה יותר של פיזור.