סיווג לפי תצהיר אדי כימי

סיווג לפי תצהיר אדי כימי

ישנן שיטות רבות להטמנת אדים כימיים, כגון CVD בלחץ אטמוספרי (APCVD), CVD בלחץ נמוך (LPCVD), CVD ואקום אולטרה-גבוה (UHVCVD), אדים כימיים בלייזר בתצהיר לייזר (LCVD), בתצהיר אדים כימיים מתכתיים-אורגניים (MOCVD) , בתצהיר אדי כימי משופר בפלזמה (PECVD) וכו '.