סיליקון טטראפלואוריד הוא תרכובת אנאורגנית עם הנוסחה הכימית SiF4. המבנה המולקולרי שלו הוא שאטומי Si יוצרים קשרי σ עם אורביטלים היברידיים sp3. הצורה המולקולרית היא טטרהדרלית רגילה. הוא משמש בעיקר להכנת חומצה פלואורוסיליצית ופלואוריד עופרת. משמש כחומר מקשה למלט ושיש מלאכותי, כחומר ביניים בייצור סיליקון טהור.
